眾所周知,半導(dǎo)體廢水中含有高濃度的化學(xué)藥劑、重金屬及微粒污染物,若未經(jīng)妥善處理直接排放,將對(duì)自然水體造成不可逆轉(zhuǎn)的損害。因此,半導(dǎo)體廢水的循環(huán)回用處理技術(shù)成為了實(shí)現(xiàn)綠色制造、促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展的重要手段。接下來,由小編為大家介紹半導(dǎo)體廢水循環(huán)回用處理。
半導(dǎo)體廢水循環(huán)回用處理技術(shù)常用以下幾種工藝:
1.預(yù)處理階段
物理沉淀:通過調(diào)節(jié)pH值促進(jìn)顆粒物凝聚沉降,初步去除懸浮物。
過濾:采用精密過濾器或超濾膜去除細(xì)小顆粒和部分溶解性有機(jī)物,為后續(xù)處理做準(zhǔn)備。
2.高級(jí)凈化技術(shù)
反滲透(RO):利用半透膜在高壓下分離水分子與溶解性鹽類、有機(jī)物等,實(shí)現(xiàn)高度凈化。
電滲析(ED):利用電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)離子透過選擇性膜,有效去除廢水中的無機(jī)鹽分。
納濾(NF):針對(duì)特定分子大小的有機(jī)物和部分無機(jī)鹽進(jìn)行篩選去除,提高水質(zhì)純度。
3.特殊污染物去除
高級(jí)氧化工藝:如臭氧、紫外線氧化或Fenton試劑法,有效分解難降解有機(jī)物。
吸附法:利用活性炭或特殊功能材料吸附重金屬和有機(jī)污染物。
4.微生物處理
雖然半導(dǎo)體廢水的生物處理難度大,但針對(duì)部分可生物降解的有機(jī)物,采用特種微生物處理技術(shù)亦是一種補(bǔ)充手段。