半導(dǎo)體硅片研磨廢水回用處理方法有哪些?
在集成電路封裝制作過程中會對晶片進行切割和研磨,并且會運用超純水進行洗凈,這樣就發(fā)生了少量的切割研磨廢水。目前國內(nèi)大部分的廠家是采取加藥混凝積淀和濾袋過濾方法處理的,出水到達污水綜合處理達標(biāo)排放的規(guī)范。有一些廠家盡管是采取膜法過濾處理廢水,但膜梗塞重大,清洗頻繁,少量使用化學(xué)藥劑,運行成本昂揚。
半導(dǎo)體硅片研磨廢水回用的處理方法,其特性在于,包含如下步驟:
(1)通過廢水搜集箱搜集硅片研磨發(fā)生的廢水;
(2)應(yīng)用水泵將廢水泵入多介質(zhì)過濾器進行第一次過濾;
(3)將經(jīng)過第一次過濾的水送入保安過濾器進行第二次過濾,所述的保安 過濾器用于掩護超濾膜;
(4)將經(jīng)過第二次過濾的水送入超濾膜過濾安裝中進行第三次過濾;
(5)通過SDI測定儀或許濁度儀測定并判定經(jīng)過第三次過濾的水能否契合欲先設(shè)定的規(guī)范請求,如契合規(guī)范請求,送入產(chǎn)水箱;如不契合規(guī)范的請求, 送入廢水搜集箱反復(fù)步驟S1至S4。