半導(dǎo)體廢水處理污染物種類多，成分復(fù)雜，通常包括多種重金屬廢水，有機(jī)廢水以及硅和氟廢水。

關(guān)于半導(dǎo)體廢水處理的方法：

1、HF濃廢液

此廢液至處理系統(tǒng)后，添加Na0H提升pH值至8~10之間，注入CaC12, Ca(OH)2 與HF反應(yīng)向生成CaF2污泥，即HF+CaCl2+Ca(0H)2←CaF2+HCl+H20的反應(yīng)式。去除氟離子之濃度量，而CaF2污泥產(chǎn)物與晶圓研磨廢液混合，且添加高分子增進(jìn)其沈降性，以利CaF2污泥經(jīng)脫水機(jī)擠壓過濾。污泥餅則委托代處理業(yè)者處理，另一產(chǎn)物HC1酸氣由處理廠廢氣洗滌后排放，污泥濾液則注入調(diào)節(jié)池。

2、一般廢水

包括HF洗滌廢水，酸/堿性廢水。經(jīng)水系統(tǒng)樹脂塔再生廢液，廢氣洗滌廢水等進(jìn)入調(diào)節(jié)池 混合均勻，稀釋后泵入調(diào)整中，添加NaOH、H2S04等酸堿中和劑，將之調(diào)整為6.0~9.0的pH值范圍后放流入園區(qū)下水道。

3、回收處理單元

有機(jī)廢液回收后將IPA溶劑、顯影液及濃硫酸廢液等分開收集，并委外處理。

濃縮液回收再利用——純水系統(tǒng)設(shè)備產(chǎn)生之濃縮液，除供應(yīng)原系統(tǒng)反洗，再生用外，更可補(bǔ)充大量飛散之冷卻用水，如此不但降低排水量，亦可節(jié)省用水量。

純水供應(yīng)系統(tǒng)回收水—目前純水供應(yīng)系統(tǒng)可直接回收70%至純水制造系統(tǒng)，另將制程之洗滌水回收以供冷卻系統(tǒng)及衛(wèi)生用水，此部份占20%，因此，純水供應(yīng)系統(tǒng)回收水已可達(dá)90%。

堿性再生廢液—純水系統(tǒng)堿性再生廢液收集應(yīng)用于廢水處理系統(tǒng)之pH值調(diào)節(jié)用，如此可減少化學(xué)藥劑之使用量。